RAPORTARE STIINTIFICA

ETAPA 3/2022

Validarea tehnologiei inovative de obținere structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect anti-static și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice

CUPRINS

1. Obiective 2022

2. Rezultate 2022

3. Depuneri pe piese reale de structuri hibride de straturi subțiri de tip sandwich alcătuite din două straturi TCO, un strat de Ag dopat cu Cu si strat antireflex

4. Validarea tehnologiei inovative de depunere prin vaporizare fizică în vid a unor structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice pe substraturi transparente flexibile și rigide

5. Testare funcţională si anduranţă eșantioane reale cu straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la EMI

5. Diseminare

6. Concluzii

1. Obiective 2022

Conform Planului de realizare, pentru etapa 3/2022, au fost prevazute urmatoarele obiective si activitati:

2. Rezultate Etapa 3/2022

Rezultatele prevazute la Etapa 3/2022 sunt:

1. Raport de validare/testare

2. Raport de caracterizare

3. Raport de testare

4. Raport de caracterizare

5. 1 articol ISI

3. Depuneri pe piese reale de structuri hibride de straturi subțiri de tip sandwich alcătuite din două straturi TCO, un strat de Ag dopat cu Cu si strat antireflex

3.1. Depuneri de structuri hibride de straturi subțiri de tip sandwich alcătuite din două straturi TCO, un strat de Ag dopat cu Cu si strat antireflex pe eșantioane de substrat transparent utilizat în aplicații reale

Depunerile de structuri hibride de straturi subtiri de tip sandwich constau din depuneri succesive de Cu, Ag, TCO si strat antireflex si combina cateva tehnologii:

- Depuneri Cu din catod sputtering de 6 inch prin metoda HiPIMS sputtering

- Depuneri Ag din catod sputtering de 6 inch prin metoda DC sputtering

- Depuneri TCO din catod sputtering de 6 inch prin metoda HiPIMS sputtering

- Oxidare strat TCO in cuptor cu mediu controlat

- Depuneri strat antireflex din creozet cu MgF2 prin metoda fascicul de electroni.

Depunerile de Cu-Ag-TCO pe suporti din sticla de dimensiuni 100x100mm au fost efectuate pe echipamentul Z-550-S Leybold dotata cu surse RF, DC si HiPIMS

Oxidarea stratului de TCO in mediu controlat a fost efectuat in cuptorul Lindberg.

Depunerile antireflex pe fata I (peste structura Cu-Ag-TCO) si depuneri antireflex pe fata II au fost efectuate pe echipamentul VU-2M.

Pentru proiectarea depunerile antireflex a fost folosit programe TFCalc, STRAT si OptiLayer. Masuratorile spctrofotometrice (Rx, Tx) au fost efectuate pe spectrofotometrul UV-VIS-NIR Lambda-19 Perkin-Elmer, iar masuratorile de rezistivitate pe Four Point Probe IUS-3.

3.2. Optimizare configurații tehnologice pentru structuri complexe strat transparent conductiv-dielectric-metal-dielectric-strat transparent conductiv și dielectric-metal-dielectric

Pe parcursul derularii proiectului au fost testate diferite materiale TCO (AZO, ITO, Cu, Ag) si materiale pentru depunerile antireflex (TiO2, SiO2, MgF2). Deasemenea si metodele de depunere (DC-RF-HiPIMS sputtering, fascicol cu electroni, termic) relevante tipului de material. In urma analizei s-a concluzionat ca metoda HiPIMS sputtering este recomandata pentru Cu si ITO, metoda DC sputtering este recomandata pentru Ag si metoda fascicol de electroni pentru MgF2.

Astfel structura multistrat optimizata a fost Cu-Ag-ITO ce asigura rezistivitatea si ecranarea electromagnetica si depuneri de MgF2 ca stat antireflex peste structura formata Cu-Ag-ITO si pe fata a doua o probei pentru ridicarea transmisiei totate.

3.3. Optimizare configurații tehnologice pentru structuri complexe ce includ starturi antireflex

Depunerea structurilor complexe ce includ straturi anti reflex a fost realizata in doua etape. Prima etapa se refera la depunerea straturilor conductoare, in instalația Z-550-S Leybold descrisa al punctul 3.1. După aceasta prima etapa straturile sunt scoase in atmosfera si transferate in instalația VU-2M pentru a fi realizata a doua etapa este conform (IT-0021 - AR-MgF2). In cadrul acestei etape straturile de tip AR au fost realizate din MgF2, fiind depuse pe ambele fete ale eșantionului.

Parametrii de proces sunt descriși in secțiunea 4.1 si descriși in Instrucțiunea Tehnologica IT-0026.

4. Validarea tehnologiei inovative de depunere prin vaporizare fizică în vid a unor structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice pe substraturi transparente flexibile și rigide

4.1. Validarea tehnologiilor de depunere optime in mediu industrial straturilor cu efect antistatic și protecție de bandă largă la interferențe electromagnetice

A fost efectuata testarea si validarea tehnologiei (Anexa 1_Raport de validare-testare a tehnologiei).

Depunerile Cu-Ag-ITO pe suprafata I au fost realizate pe instalatia de vid Z-550-S Leybold. Parametrii tehnologiei validate sunt prezentati in tabel:

Tehnologie este validata prin Instructiunea Tehnologica IT-0025 - Depuneri de structuri hibride de straturi subtiri de tip sandwich Cu-Ag-TCO (Anexa 1-1_IT-0025 - Cu-Ag-TCO - 31.05.22).

Depunerea de strat antireflex pe suprafata II compusa de simplu strat de MgF2 a fost realizata pe instalatia de vid VU-2M. Parametrii tehnologiei validate sunt prezentati in tabel:

Tehnologie este validata prin Instructiunea Tehnologica IT-0026 - Acoperire optica antireflex pe structuri hibride de straturi subtiri de tip sandwich Cu-Ag-TCO (Anexa 1-2_IT-0026 - AR-MgF2 - 31.05.22).

4.2. Caracterizare eficacității de ecranare și efect antistatic a straturilor depuse pe eşantioane reale - caracterizare compoziţională si structurala straturilor obţinute

Caracterizarea eficientei de ecranare si efect antistatic a straturilor depuse pe esantioane reale de dimensiunile 100x100mm, in gama de frecvente 1 -18 GHz, au fost efectuate la Partenerul P1 (Anexa 4 - Raport de caracterizare eficacitatea de ecranare).

Rezultate structurii Cu-Ag-ITO pe suport de sticla cu dimensiunile de 100x100x1,5mm

Analiza morfologică a grosimii straturilor Cu-Ag-ITO prin microscopie electronică cu baleiaj.

Analiza compozițională (EDX) (jos) a straturilor Cu-Ag-ITO prin microscopie electronică cu baleiaj (sus) utlizând modulul de analiză energy dispersive X-ray.

4.3. Caracterizarea spectrală și a transmitanței optice în vizibil a straturilor depuse pe eşantioane reale

Pentru a putea limita exfolierea eșantioanelor in urma tratamentului termic au fost evaluate diverse soluții tehnologice. Astfel, a fost evaluata posibilitate obținerii unui strat de ITO in atmosfera reactiva, conținând diverse proporții de Oxigen. Avantajul acestei abordări este ca poate furniza cantitatea necesara de oxigen in strat, fără a fi necesar un tratament termic ulterior. Dezavantajul este ca ratele de depunere scad semnificativ atunci când in camera de proces este un amestec Ar/O₂. Spre exemplu, atunci când raportul intre debitele de Ar si O₂ creste de la 10/5 la 20/1 (un factor 10) rata de depunere medie creste de la 3,38 nm/min la 13,6 nm/min (un factor 4).

In Figura 4.3.1 sunt reprezentate spectrele de transmisie ale unor eșantioane depuse in atmosferă reactiva, pentru diverse proporții Ar/O₂ si durate de depunere diferite. Se poate observa ca acestea au o transmisie buna, ce ajunge la 85-90%, cu profile ce depind de grosimea totala stratului

In urma testelor efectuate, privind proprietățile optice, stabilitatea la temperatură, proprietățile electrice, s-a ajuns la următoarele condiții de depunere pentru depunerea straturilor de ITO :un raport optim pentru Ar/O₂ de 10/1, o putere HiPIMS aplicată pe țintă de ITO de 1000 W si o temperatura de 400^oC pentru tratamentul termic post-depunere. Pentru aceste condiții rata de depunere este de ~10nm/min. In Figura 4.3.2 sunt reprezentate spectrele de transmisie pentru astfel de eșantioane care conțin atât stratul metalic Cu250W/Ag100W cat si stratul de ITO obținut in condițiile descrise mai sus. Pentru comparație este reprezentata si curba de transmisie a stratului ce conține un strat de ITO obținut in condiții nereactive, pe o durata de 21 minute. Din comparația curbelor se poate vedea o creștere a transmisiei in urma tratamentului termic, ajungându-se pana la valori comparabile ale transmisiei in cele doua cazuri. Astfel, folosind o combinație de proces reactiv si o temperatura mai mica a tratamentului termic, 400^oC fata de 450^oC, a fost posibila obținerea unor proprietăți optice comparabile si a unui strat mai stabil

Caracteristicile spectrale ale structurilor multistrat Cu/Ag/ITO cu straturi de tip AR

Odată stabilite condițiile pentru depunerea straturilor transparente conductoare, s-a trecut la îmbunătățirea proprietăților optice ale acestora folosind straturi anti reflex. In acest scop au fost depuse straturi de MgF2, pe ambele fete ala ansamblului. In figura 4.3.3 sunt reprezentata spectrele de transmisie ale unei structuri transparente conductoare de tipul Cu250/Ag100/ITO10(1)60min, precum si evoluția transmisiei la aplicarea tratamentului termic si a celor doua depuneri de tip anti reflex. Stratul AR1 este aplicat pe aceiași parte a sticlei ca si straturile transparente conductoare, având o grosime de 84 nm. Stratul de AR2 este aplicat pe spatele eșantionului si are o grosime de 70 nm. Din evoluția curbelor de transmisie se poate observa o îmbunătățire a transmisiei de la ~70% pana la ~78% in urma aplicării tratamentului termic la 400^oC, urmata de o creștere pana la ~83 % datorata stratului AR1 aplicat pe fata anterioara a probei si de o creștere pana la 86% după aplicarea celui de al doilea strat AR2 pe fata posterioara a probei.

In concluzie, in cadrul aceste etape au fost optimizate proprietățile optice ale structurii multistrat transparente conductoare, conținând un strat metalic de CuAg , un strat de ITO si straturi de tip anti reflex. Optimizarea a avut doua direcții: una referitoare la îmbunătățirea raportului stoichiometric si a conținutului de oxigen prin utilizarea unui mediu reactiv ce depunere, respectiv una referitoare la utilizare unor straturi de tip anti reflex aplicate pe fetele eșantioanelor pentru a îmbunătăți proprietățile de transmisie ala ansamblului.

5. Testare funcţională si anduranţă eșantioane reale cu straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la EMI

5.1. Testarea durabilitatii straturilor obtinute in medii electromagnetice, cu solicitari mecanice, variatii cu temperatura și cu umiditatea

Testarea modelului funcțional de ecran electromagnetic (MF) in gama de frecvente 1 -18 GHz, au fost efectuate la Partenerul P1 (Anexa 4 - Raport de caracterizare eficacitatea de ecranare).

Configurația sistemului de măsurare al eficacității de ecranare al straturilor transparent conductive:

- o incintă ecranată de ETS-Lindgren model 5240-36;

- două antene de tip horn ETS-Lindgren model 3115 (una la emisie si una la receptie);

- generator de semnal Agilent model E8257D;

- amplificator de putere Instruments for Industry (IFI) model ST181-50;

- analizor de spectru Agilent model 7405A.

Esantioanelor reale cu straturi subtiri transparent conductoare au fost supuse testele de durabilitate in Camera Climatica Heraus Votch (Anexa_3 Raport de testare durabilitate).

Probele au fost supuse la urmatoarele teste:

- Aderenta - MIL C-48497 para 4.5.3.1

- Umiditate - MIL C-48497 para 4.5.3.2

- Frecare moderata - MIL C-48497 para 4.5.3.3

- Temperatura - MIL C-48497 para 4.5.4.1

- Solubilitate si stergere - MIL-C-48497 para 4.5.4.2

- Acuratetea (rizuri si intepaturi) - MIL-O-13830

5.2. Caracterizare morfologica a straturilor subţiri după testele industriale - evaluarea performanțelor de ecranare si efect antistatic

În urma testelor industriale privind evaluarea performanțelor de ecranare cu efect antistatic a eșantioanelor mai sus prezentate a fost realizată o nouă evaluare a morfolofiei straturilor subțiri pentru a evidenția dacă există mofificări morfologice. Analiza SEM și EDX nu a relevat modifică la nivel nanometric ceea ce dovedește faptul că structurile sunt stabile sub acțiunea repetată câmpurilor electromagnetice în regiunea 1 – 18 GHZ. Aceasta indică faptul că structurile sunt stabile în timp fără ași modifica proprietățile de ecranre electromagnetică.

5. Diseminare

Lucrari:

1.     Influence of Hydrogen Annealing on the Properties of AZO Thin Films, Iordache Iulian, Sobetkii Arcadie, Vitelaru Catalin, Chitanu Elena, Banciu Cristina, Iosif Gabriela, Marinescu Virgil, Sbarcea Beatrice Gabriela, Acmola Leila, Valentina Capatina,, JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS, 24 (2022) 5-6.

2.     Transparent silver coatings with copper addition for improved conductivity by combined DCMS and HiPIMS process,  Vitelaru Catalin, Anca Constantina Parau, Dinu Mihaela, Iulian Pana, Constantin Lidia Ruxandra, Sobetkii Arcadie, Iordache Iulian, METALS (2022)-in evaluare

Conferinte:

·       The effect of copper addition on the growth of transparent conductive silver coatings, Catalin Vitelaru, Anca Parau, Iulian Pana, Mihaela Dinu, Lidia Constantin, Arcadie Sobetkii, Valentina Capatina, Iulian Iordache, 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MATERIALS SCIENCE & ENGINEERING-BRAMAT 2022, 09-12.03.2022, Brasov Romania

6. Concluzii

In cadrul acestei de a treia si ultime etape de proiect au fost validate tehnologiile si procesele tehnologice inițiate in etapele anterioare, pentru depunerea de straturi subțiri conform obiectivelor proiectului, obiectivele acestei etape fiind realizate in proporție de 100%. Validarea tehnologiilor, implementarea tehnologiilor si depunerea efectiva a eșantioanelor au fost integral realizate la sediul Co-MGM, utilizând echipamentele pregătite in acest sens. Partenerii din proiect, institute de cercetare, au contribuit cu expertiza tehnica pentru optimizarea instalațiilor, validarea tehnologiilor, precum si cu caracterizarea eșantioanelor rezultate in urma depunerilor. In cadrul etapei au fost validate tehnologiile de depunere pentru straturi de ITO, straturi de Ag cu adaos de Cu, astfel încât sa formez împreuna o structura care sa realizeze rolul de strat conductor transparent. A fost de asemenea validata si tehnologia de depunere de straturi anti reflex pentru îmbunătățire proprietăților optice ale structurii. Tehnologiile descrise au fost validate pe eșantioane plane cu dimensiuni tipice de 100x100 mm din sticlă. Au fost evaluate proprietățile optice, transparenta, si cele de ecranare electromagnetica ale diverselor versiuni de structuri, acestea fiind considerate adecvate pentru îndeplinirea rolului de ecranare. Anduranța eșantioanelor reale a fost testata prin teste specifice de variate a umidității si temperaturii, demonstrându-se stabilitatea depunerilor.

Rezultatele proiectului sunt în conformitate cu obiectivele propuse și în anumite privințe performanțele propuse au fost depășite, de exemplu transmisie optică în regiunea vizibila de 86% cu pic de 90% la 600nm, cu o eficacitate a ecranării electromagnetice de peste 20% la 1 GHz și cu rezintențe electrice de strat de 20÷50 ohm/pătrat fata de valorile propuse de max 100 ohm/pătrat.

Performanțele prezentate în acțiunile de diseminare au prezentat interes din partea mediului economic și au fost inițiate discuții pentru realizarea la scară industrială, pe suprafețe mari, a unor astfel de structruri ecranante electromagnetic.

RAPORT ŞTIINŢIFIC FINAL

(2020 - 2022)

1.     Prezentare generală a realizării obiectivelor proiectului, cu punerea în evidență a rezultatelor și gradul de realizare a obiectivelor. Prezentarea trebuie să includă explicații care să justifice diferențele (dacă există) dintre activitățile preconizate și cele realizate

Obiectivul proiectului a constat in dezvoltarea unei tehnologii de fabricare a unor structuri de straturi subțiri transparent conductive cu grosimi de max. 600 nm, cu o rezistență de suprafață de max. 100 ohmi/patrat pentru o eficacitate a ecranării de min. 25 dB iar pentru efect antistatic cu o rezistență de suprafață de maximum 1000 ohmi/pătrat, pe substraturi transprente flexibile și rigide pentru transmitanțe în vizibil de minim 80%.

Acest obiectiv a fost atins prin realizarea a 3 etape:

1. Proiectarea și testarea echipament tehnologic pentru tehnologie inovativă de obținere structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice

In cadrul primei etape au fost proiectate si testate echipamentele tehnologice necesare pentru realizarea obiectivelor proiectului, obiectivele acesti etape fiind realizate in proporție de 100%. Echipamentele au fost integral realizate la sediul Co-MGM, utilizând expertiza partenerilor pentru configurarea instalațiilor si a proceselor de depunere. De asemenea au fost selectate si testate principalele materiale de interes ce urmează a fi utilizate pentru realizarea filmelor subțiri transparente cu proprietăți antistatice si de protecție la interferenta electromagnetica: straturi de ITO pentru asigurarea componentei de protecție electromagnetică . straturi de Cu si Ag, cu si combinații ale acestora, pentru îmbunătățirea proprietăților de protecție electromagnetica, multistraturi de TiO2, SiO2 si MgF2 pentru îmbunătățirea proprietăților optice ale structurilor proiectate. Au fost evaluate proprietățile de ecranare electromagnetica ale diverselor versiuni de structuri, acestea fiind considerate adecvate pentru îndeplinirea rolului de ecranare. Au fost propuse o serie de designuri optice teoretice care sa asigure o scădere a pierderilor optice prin reflexie pe suprafețe

2. Implementare industriala a tehnologiei inovative de obținere structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect antistatic și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice

In celei de a doua etape de proiect au fost proiectate si realizate instalațiile tehnologice, precum si tehnologiile asociate pentru depunerea de straturi subțiri conform obiectivelor proiectului, obiectivele acestei etape fiind realizate in proporție de 100%. Realizarea echipamentelor, implementarea tehnologiilor si depunerea efectiva a eșantioanelor au fost integral realizate la sediul Co-MGM. Parteneri institute de cercetare au contribuit cu expertiza tehnica pentru configurarea si optimizarea instalațiilor si a tehnologiilor, precum si cu caracterizarea eșantioanelor rezultate. In cadrul etapei au fost depuse si caracterizate atât straturi de ITO, straturi de Cu, de Ag si combinații ale acestora, astfel încât sa formez împreuna o structura care sa realizeze rolul de strat conductor transparent. Au fost de asemenea depuse si straturi anti reflex pentru îmbunătățire proprietăților optice ale structurii. Tehnologia a fost validata pe eșantioane plane cu dimensiuni tipice de 100x100 mm, din sticlă si din folie de polimer transparent si flexibil. Au fost evaluate proprietățile optice, transparenta, si cele de ecranare electromagnetica ale diverselor versiuni de structuri, acestea fiind considerate adecvate pentru îndeplinirea rolului de ecranare. Anduranța eșantioanelor reale a fost testata prin teste specifice de variate a umidității si temperaturii, demonstrându-se stabilitatea depunerilor

3. Validarea tehnologiei inovative de obținere structuri de straturi subțiri transparent conductive cu efect anti-static și protecția de bandă largă la interferențe electromagnetice

In cadrul celei de a treia si ultime etape de proiect au fost validate tehnologiile si procesele tehnologice inițiate in etapele anterioare, pentru depunerea de straturi subțiri conform obiectivelor proiectului, obiectivele acestei etape fiind realizate in proporție de 100%. Validarea tehnologiilor, implementarea tehnologiilor si depunerea efectiva a eșantioanelor au fost integral realizate la sediul Co-MGM, utilizând echipamentele pregătite in acest sens. Partenerii din proiect, institute de cercetare, au contribuit cu expertiza tehnica pentru optimizarea instalațiilor, validarea tehnologiilor, precum si cu caracterizarea eșantioanelor rezultate in urma depunerilor. In cadrul etapei au fost validate tehnologiile de depunere pentru straturi de ITO, straturi de Ag cu adaos de Cu, astfel încât sa formez împreuna o structura care sa realizeze rolul de strat conductor transparent. A fost de asemenea validata si tehnologia de depunere de straturi anti reflex pentru îmbunătățire proprietăților optice ale structurii. Tehnologiile descrise au fost validate pe eșantioane plane cu dimensiuni tipice de 100x100 mm din sticlă. Au fost evaluate proprietățile optice, transparenta, si cele de ecranare electromagnetica ale diverselor versiuni de structuri, acestea fiind considerate adecvate pentru îndeplinirea rolului de ecranare. Anduranța eșantioanelor reale a fost testata prin teste specifice de variate a umidității si temperaturii, demonstrându-se stabilitatea depunerilor.

In cadrul acestor 3 etape au fost realizate integral rezultatele propuse in cadrul acestui proiect:

  Dezvoltarea unei tehnologii de fabricare a unor structuri de straturi subțiri transparent conductive cu grosimi de  max. 600 nm, cu o rezistență de suprafață de max. 100 ohmi/patrat pentru o eficacitate a ecranării de min. 25 dB iar pentru efect anti-static cu o rezistență de suprafață de maximum 1000 ohmi/pătrat, pe substraturi transprente flexibile și rigide pentru transmitanțe în vizibil de minim 80%.

  Realizarea documentației tehnice privitoare la tehnologia de obținere de structuri de straturi subțiri transparent conductive ecranante la interferențe electromagnetice depuse pe substraturi transprente flexibile și rigide.

  Validarea performanțelor structurilor de straturi subțiri transparent conductive pe substraturi transprente flexibile și rigide prin teste specifice privind ecranarea la interferențe electromagnetice și efecte anti-statice.    

2.     Prezentarea şi argumentarea nivelului de maturitate tehnologică (TRL) la finalul proiectului.

Nivelul de maturitate tehnologică TRL 6 validarea componentelor și a sistemului, a fost atins prin cercetarea desfășurată prin:

  demonstrarea funcționalității modelului în condiții relevante de funcționare (mediul industrial, dimeniuni tipice la incintei 55 cm, dimensiuni tipice ale substratului 100x100x1,5mm);

  configurarea si punerea in functiune la sediul conducătorul proiectului SC MGM STRAR CONSTRUC SRL a echipamentelor necesare pentruimplementarea tehnologiilor propuse

  Utilizarea echipamentelor si validare tehnologiilor inovative pentru producere avantajoasă în masa, a structurilor de straturi subțiri transparent conductive pe substraturi transprente flexibile și rigide ecranante la interferențe electromagnetice și cu efecte anti-statice.

3.     Modul de atribuire şi exploatare de către parteneri a drepturilor de proprietate (intelectuală, de producţie, difuzare, comercializare etc.) asupra rezultatelor proiectului.

Drepturile de proprietate intelectuala asupra rezultatelor obținute in cadrul acestui proiect sunt distribuite dupa cum urmeaza:

- drepturile de proprietate intelectuala asupra rezultatelor obtinute prin executia proiectului vor reveni partii care a generat-o;

- in cazul in care rezultatele obtinute provin din colaborarea partenerilor, drepturile de proprietate intelectuala se vor stabili prin incheierea unui CONTRACT DE COPROPRIETATE, in care vor fi mentionate obligaţiilor şi drepturilor fiecărui coproprietar, precum si modul de exploatare a rezultatelor.

In urma proiectului a rezultat o propunere de brevet A00768 din 9.12.2021 depusa in colaborare intre cei trei parteneri in proiect. Beneficiile obținute in urma licențierii sau cesionarii drepturilor pentru acest brevet se vor împărți în procent de 60% pentru MGM, 20% pentru ICPE-CA si 20% pentru INOE-2000

Drepturile de difuzare a rezultatelor:

Rezultatele stiintifice si tehnice apartin partenerilor din consortiu, in conformitate cu drepturile de proprietate intelectuala. Rezultatele stiintifice si tehnologice obtinute vor fi analizate in comitetul de diseminare a informatiilor si management a drepturilor de proprietate intelectuala (IPR).

Rezultatele care nu genereaza IPR vor fi diseminate pe scara larga, pentru atragerea interesului cat mai multor cercetatori cu preocupari in domeniu in scopul crearii de noi parteneriate – in special la nivel european, precum si a altor potentiali beneficiari. Datele cu caracter stiintific rezultate din cercetare vor fi utilizate in articole pentru publicatii stiintifice, comunicari la manifestarile stiintifice nationale si internationale, work shop-uri, cu conditia acordului partenerilor participanti la obtinerea rezultatelor respective.

Partenerul 1 si Partenerul 2 pot disemina realizarile obtinute in mediul industrial, prin publicatii tehnice comerciale, participari la targuri si expozitii, in vederea atragerii unor potentiali beneficiari ai tehnologiilor dezvoltate in proiect si de utilizatori ai produsului final.

4.     Prezentarea realizărilor economice şi/sau tehnologice obţinute la finalul proiectului comparativ cu obiectivele propuse în planul de afaceri.

Conform analizei financiare din planul de afaceri viitorii noștri clienți sunt cei care activează pe piața producției de suprafețe din sticlă tratată/securizată, destinate aplicațiilor anti-statice și protecției de bandă largă la interferențe electromagnetice. Pe langa clientii relevanti initial identificati, noii client ca ELI-NP Magurele (geamuri ecranate pentru laboratoare), SC BlueSpace Technology SRL (produse TEMPEST) si SC ZirImplant SRL (producator generatoare care emit un camp electromagnetic natural, de anumita frecventa, tratament parodontoza atraumatic cu frecventa naturala de camp electromagnetic) sunt interesati in produsele dezvoltate in cadrul proiectului si suntem in faza de incepere colaborare pentru executie de geamuri/panouri cu protectie EMI, colaborari ce pot duce la o crestere a volumului de productie la peste 10% fata de cel estimate initial. Deasemenea CO-MGM ia in calcul si posilititatea investiei in transferul tehnologic pe un echipament de productie in masa si la dimensiuni de structure mai mari, echipament care poate fi realizat intern.

5.     Impactul rezultatelor obținute, cu sublinierea celui mai semnificativ rezultat obținut.

Selectarea materialelor optime, a structurii multistrat Cu-Ag-ITO-AR(MgF2) depuse pe I fata a substraturilor si AR(MgF2) depus pe a doua fata a substraturilor din sticla optica cu dimensiunile de 100x100x1,5mm si alegerea metodelor optime de depunere in vid (DC-HiPIMS-e-gun) au dus la obtinerea atat a protectiei electromagnetice eficiente cat si a transmisiei totale de pana la 86% cu picul de 90% la 600nm la rezistenta de suprafata de max. 100 ohmi/patrat. Acest rezultat semnificativ deschide posibilitatile abordarii si ofertarii pe piata a unor produse pentru aplicatii optice mai avansate. Deasemenea a fost abordata solutia de optimizare realizare elemente de dimensiuni 100x100x1,5mm, pe care este mai eficienta aplicarea tehnologica, si realizarea de panouri de dimensiuni mari prin montarea succesiva a elementelor.

PREZENTARE SUCCINTA

Intr-o lume in care suntem practic înconjurați de radiație electromagnetica de putere din ce in ce mai mare, devine important ca anumite zone sau obiecte a fie protejate împotriva acestor radiații. In acest scop pot fi folosite ecrane care au in componenta lor un material conductor, care poate fi opac sau transparent.

In cadrul acestui proiect au fost dezvoltate, implementate si optimizate tehnologii de obținere a unor astfel de straturi conductoare transparente, bazându-ne pe structuri de tip multistrat. In componenta acestora intra straturi metalice foarte subțiri, straturi de oxizi conductori, precum si straturi de tip anti reflex care sa îmbunătățească transmisia optica.

Tehnologiile au fost dezvoltate si implementate la sediul coordonatorului proiectului SC MGM Star Construct SRL, in colaborare cu partenerii din proiect Institutul National de Cercetare-Dezvoltare pentru Inginerie Electrica ICPE-CA si Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Optoelectronica INOE-2000.